當(dāng)前位置 > 首頁 > 技術(shù)文章> pecvd
按分類查找文章
-
2148 次 PECVD原理及應(yīng)用 2023-7-7
PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition）是等離子增強化學(xué)氣相淀積，該技術(shù)是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電（或
Copyright(C) 1998-2025 生物器材網(wǎng) 電話：021-64166852;13621656896 E-mail：info@bio-equip.com