NSC-4000(A)全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)到6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),支持到4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-4000(A)帶有14”立方形不銹鋼腔體,4個(gè)2”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,350 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-4000(A)全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):
- 不銹鋼腔體
- 260l/s或350l/s的渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵
- 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
- 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
- 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問控制
- 完全的安全聯(lián)鎖功能
- 預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片
選配項(xiàng):
- RF、DC濺射
- 熱蒸鍍能力
- RF或DC偏壓(1000V)
- 樣品臺(tái)可加熱到700°C
- 膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 基片的RF射頻等離子清洗
應(yīng)用:
- 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
- 光學(xué)以及ITO涂覆
- 帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
- 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
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那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸,香港,臺(tái)灣和澳門)的客戶,同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó),該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員,使得公司擁有一流的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商,我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持最高水平的集成度。