| 型號(hào) |
VPC-500F4 |
| 控制系統(tǒng) |
控制方式 |
全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換） |
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PLC（標(biāo)配）/PC（可選） |
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操作系統(tǒng) |
Windows 10 |
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觸摸屏 |
7寸 |
| 整機(jī)規(guī)格 |
尺寸 |
W1150×D1400×H1720mm |
| 腔體 |
尺寸 |
W500×D486×H520mm |
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材質(zhì) |
鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） |
| 電極 |
結(jié)構(gòu)尺寸 |
組合柜式， W398×D394×H425mm |
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分隔數(shù)量 |
4個(gè)料盒 |
| 托架 |
材質(zhì) |
鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） |
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形狀 |
平板式/滾輪式（可選） |
| 真空計(jì) |
皮拉尼式真空計(jì) |
1個(gè) |
| 流量計(jì) |
MFC質(zhì)量流量控制器 |
2個(gè)；Ar、N2、H2（可選） |
| 真空泵 |
機(jī)械油式旋片泵 |
1套 |
| 發(fā)生器 |
中頻/射頻 |
40KHz，0~1000W |
13.56MHz，0~500W |
| 額定功率 |
整機(jī)峰值功率 |
5KW |
| 機(jī)臺(tái)供電 |
三相五線式 |
AC-380V |
| 選購(gòu)品 |
干式泵、雙級(jí)旋片真空泵+羅茨泵（泵組）、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 |
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昆山普樂(lè)斯電子科技有限公司成立于2010年，是一家集等離子表面處理技術(shù)研發(fā)、制造、銷(xiāo)售和推廣于一體的高科技公司。作為一家專(zhuān)業(yè)的等離子表面處理應(yīng)用技術(shù)方案公司普樂(lè)斯PLAUX致力十整合等離子表面處理技術(shù)、自動(dòng)化以及人工智能等各要素，注重客戶體驗(yàn)與互動(dòng)，積極參與先進(jìn)材料研發(fā)、加工和器件制造工藝的創(chuàng)新。
