潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。也就是不論外在之空氣條件如何變化,實驗室內均能俱有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
根據潔凈室潔凈度的不同又將其劃分為幾個級別:
微流控芯片加工實驗室通常要求在潔凈環境中,實驗室中高溫爐區、等離子區、測試區等要求達到千級等級;光刻、勻膠、顯影工藝要求在百級超凈間進行。
實驗室組建主要包括潔凈室和外設系統的建設。潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室:
1. 天花板系統:包括吊桿、綱梁、天花板格子梁;
2. 空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等;
3. 隔墻板:包括窗戶、門;
4. 地板:包括高架地板或防靜電舒美地板;
5. 照明器具:包括日光燈、黃色燈管等;
6. 潔凈實驗室所需的實驗臺、試劑柜、更衣柜、鞋柜等。