紫外臭氧清洗機具有數字控制系統，燈管尺寸自4x4" 至 20x20"不等。PSD的特征在于強大的柵格紫外燈，帶反射罩，樣品臺高度可調，可以很好地進行樣品定位，使清洗效果達到理想狀態。4x4"或以上尺寸系統出氣口雙氣路設計PSD紫外臭氧清洗機通過一個操作簡便的預置控制器進行控制，讓工作變的輕而易舉。

紫外臭氧清洗機原理:通過紫外燈發出適當強度的185nm和254nm波長高能紫外線破壞有物分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(O2)分解成臭氧(O3)，而254nm波長的紫外光的光能量能將O3分解成O2和活性氧(O)， 254 nm紫外線同時激發表面的有機物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團破壞。在連續進行的光敏氧化反應中，生成的活性氧原子與活化了的有機物(即碳氫化合物)分子發生氧化反應，生成揮發性氣體(如CO2，CO, H2O,NO等)逸出物體表面，從而徹底清除粘附在物體表面上的有機污染物，達到清洗的目的。因為臭氧具有短暫的半衰期，也能被254nm紫外線破壞，Novascan紫外臭氧清洗機中采用了可調高度樣品臺，可以使樣品正確定位以達到很好的光線照射效果。PSD和PSDP 系列紫外臭氧清洗機破壞污染物，然后釋放出CO2和水蒸汽，剩余的臭氧恢復到分子氧的狀態。